昆明净化工程安装系统设计

无尘净化室是半导体晶圆厂的心脏,所有晶圆的出产在此车间完成,昆明净化工程无尘室由两大部份组成:一是洁净环境供给系统,二是高洁净度内装系统.

一、洁净环境供给系统

此系统供给洁净室所需的无尘洁净空气,并精确控制其微尘、静压、温度与相对湿度,因为洁净室为一很大的空间,其中又放有很多的出产设备,因此要将整个洁净室控制在非常高级别,非常不乱的环境之下供给出产,需要很高的技术层次才能做到,洁净系统可分为下列三大类:

1、增补空气系统

增补洁净室内因制程所需抽排掉及天然外泄的空气,同时调节洁净室内的静压,并做第一阶段的空气过滤.

2、轮回空气系统

将洁净室内空气不断轮回过滤,以保持空气洁净度品质.

3、废气排放系统

将出产过程中产生的有害有毒废气经过抽气除毒装置将废气净化后排出,废气排放系统又分为下列四大系统:

(1)一般废气:废热、机器外罩等无毒的废气排放.

(2)废溶剂:挥发性的废溶剂经过活性碳吸附或高温燃烧处理后排放.

(3)酸废气:带酸性的废气经过碱性湿式洗涤塔中和处理后排放.

(4)碱废气:带碱性的废气经过酸性湿式洗涤塔中和处理后排放.

二、高洁净度内装系统

因为洁净室对微尘的要求非常苛刻,因此任何在洁净室内的内装材料必需是不会产生微尘的材质,又由于洁净室内相对湿度较低轻易产生静电累积微尘,因此所有材料亦需要导电材质以避免静电的累积,高洁净度内装系统包含三大主要部份:

1、滤网天花

由超洁净空气滤清网所构成,为洁净室微尘控制最主要的一道防线.

2、导电隔间

隔离所有出产微尘的来源,如外墙,设备维修区,并导掉累积微尘的静电

3、导电高架地板

由穿孔与不穿孔的地板组成,主要作用在于形成洁净室气流的模式以避免扰流发生.